Плазменный улучшенный химический пар

Послепродажное обслуживание: 1 год
Гарантия: 1 год
заявка: Промышленность, Школа, лаборатория
Индивидуальные: Индивидуальные
сертификация: CE
Состав: рабочий стол

Products Details

  • Обзор
  • Описание продукта
  • Параметры продукта
  • Подробные фотографии
Обзор

Основная Информация.

Модель №.
CY-PECVD-240
материал
Нержавеющая сталь
Тип
Трубчатые печи
метод охлаждения источника рч-питания
воздушное охлаждение
зона нагрева
зона нагрева 200 мм
точность измерения температуры
+-1c
материал трубы печи
кварц высокой чистоты
размер трубы печи
диам. 50*1200 мм
регулируемая скорость
0 об/мин
Транспортная Упаковка
Standard Export Wooden Packaging
Торговая Марка
CYKY
Происхождение
Zhengzhou Henan China
Код ТН ВЭД
8401200000
Производственная Мощность
50sets Per Month

Описание Товара

PECVD плазменный улучшенный химический осаждение паров для аморфного кремния и. микрокристаллические силиконовые пленки
Описание продукта

CY-PECVD-240 химическое осаждение паров с использованием технологии плазменного улучшенного химического осаждения паров, низкой температуры основы, высокой скорости осаждения, осаждения нитрида кремния, аморфного кремния и микрокристаллических кремниевых пленок на оптическом стекле, кремнии, кварце, нержавеющей стали и других материалах подложки, хорошего качества формования пленки, меньшего количества пробин, непростых в трещине. Подходит для подготовки аморфных кремниевых и микрокристаллических кремниевых тонкопленочных солнечных батарей, и может широко использоваться в исследованиях и мелкосерийной подготовке тонкопленочных материалов в колледжах и университетах и научно-исследовательских институтах.

Основные функции и характеристики:


Оборудование PECVD использует принцип плоскопластинного емкостного свечения для отделения технологического газа, проходящего в камеру осаждения и генерирования плазмы. Разделенные группы ререагируют в плазме химически. Благодаря наличию плазмы поощряется декомпозиция, комбинация, возбуждение и ионизация молекул газа, и формируется реактивные группы, тем самым уменьшая температуру осаждения. Пленка откладывается на подложку при определенной температуре. Плотность и энергия плазмы можно регулировать в соответствии с процессом, а скорость роста и микроструктура пленки можно контролировать.

Параметры продукта
Модель продукта CY-PECVD-240 оборудование для химического осаждения паров
Условия установки Оборудование должно использоваться на высоте менее 1000 м при температуре 25 °C ±15 °C и влажности 55 % относительной влажности ±10 %.
1, вода: Оборудование оснащено самоциркулирующей охлаждающей машиной (заполненной чистой водой или деионизированной водой)
2, Электричество: 220В 50Гц, должно быть хорошее заземление
3. Газ: Азот/аргон (чистота свыше 99.99%) должен быть заполнен в камеру оборудования, а газовый баллон, необходимый для эксперимента, должен быть подготовлен самостоятельно (с двойным соединением муфты Ø10mm) и редукционным клапаном
4, вентиляционное устройство: требуется
Основная функция 1. Требуется низкая температура формования пленки
2. Высокая скорость осаждения и широкое применение
3. Небольшой размер, простота в эксплуатации
4. Простота управления с использованием радиочастоты в качестве источника усиления
5. Простота очистки и установки.
6. Встроенный сенсорный экран
Радиочастотное питание Частота сигнала: 13,56 МГц±0.005%
Выходная мощность: 0–500 Вт.
Отраженная мощность: <3 Вт (максимальная мощность)
Стабильность мощности: ±0.1%
Вакуумная камера Режим емкостной связи используется с пробоотборным столом внизу, а сопло подачи газа - сверху.
Нагрев образца: От RT до 1000°C выше, точность регулирования температуры: ±1°C.
Частота вращения образца: Регулируемая скорость: 1–20 об/мин
Распылительная головка: Φ100mm интервал 40-100 мм, постоянная регулировка
Штатив для образцов: Диаметр 100 мм
Вакуумная камера: Тип передней двери, φ245mm X 300 мм, нержавеющая сталь
Окно наблюдения: φ100mm с перегородкой
Система подачи газа Диапазон измерения
Канал A: 0 ~ 200SCCM, AR газ
Канал B: От 0 до 200 SCCM, O2 GAS
Канал C: 0 ~ 200SCCM, N2 газ
Источник жидкости: Аргон или азот
Спецификация разъема: Муфта 6,35 мм
Вакуумная система Порт типа всасывающего отверстия: KF40;выпускной порт: G1"
Скорость выхлопа
Азот: 60 л/с.
Азот с защитной сеткой: 55 л/с.
Тип подшипника: Керамический подшипник, смазываемый консистентной смазкой
Способ охлаждения: Принудительное охлаждение воздуха
Частота вращения: 69000 об/мин
Время запуска: От 1.5 до 2 минут
Время остановки: От 15 до 25 минут
Степень сжатия N2:2x 107
Степень сжатия H2:3x 103
Макс. Допустимое противодавление: 800 Па
Срок службы подшипника: 20000 часов
Контроллер молекулярного насоса: TC75
Тип вспомогательного насоса: Двухступенчатый роторно-лопастной вакуумный насос
Скорость выпуска: 160L/мин
Студия осаждения 0.133 Па (регулируется в соответствии с процедурой)
Вакуумметр Комбинированный вакуумметр
Водоохладитель Расход воды: 10 л/мин; мощность: 0,1 кВт
Температура охлаждающей воды: <37°C.
Гарантийный период Стандартный гарантийный срок составляет 1 год
Подробные фотографии

 

Pecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor DepositionPecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor DepositionPecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition


Pecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Основанная в 2005 году, Чжэнчжоу Ци Научный инструмент ко., Лтд. Является компанией, специализирующейся на разработке и производстве лабораторного технологического научно-исследовательского оборудования. Изделия смешаны, прессованы, сгорели, порезаны, шлифованы, полированное, покрытое, аналитическое оборудование и сопутствующие расходные материалы. Продукция включает лабораторное оборудование для спекания, оборудование для нанесения покрытий и т.д. В настоящее время она экспортируется в 25 стран и регионов, таких как США, Европа и Юго-Восточная Азия, и получила хорошую награду от различных научных исследовательских подразделений.

У нас есть развитая команда по технологическим исследованиям и разработкам, количество технических специалистов — 33, в компании — 150 человек, более 500 квадратных метров офисных площадей, фабрика занимает площадь около 1,500 квадратных метров, расположенных в высокотехнологичном угольнике «Чжэнчжоу». Продукция в основном находится на рынке исследований, обслуживая научные исследования в лабораториях университетов и колледжей, а также может настраивать продукцию в соответствии с вашими потребностями.

Pecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Pecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Pecvd Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

В. Вы являетесь производителем или торговой компанией?
О. мы являемся профессиональными производителями лабораторного оборудования, имеем собственную команду проектирования и завод, имеем зрелый технический опыт, и можем гарантировать качество продукции и оптимальную цену.

В. как работает система послепродажного обслуживания вашей компании?
A. Гарантия на изделие составляет 12 месяцев, мы можем обеспечить обслуживание на весь срок эксплуатации. У нас есть профессиональные отделы предпродажной подготовки и послепродажного обслуживания, которые могут ответить вам в течение 24 часов для решения любых технических проблем.

В. сколько времени у вас будет доставка? Сколько времени занимает настройка прибора?
A.1. Если товар есть на складе, то это 5-10 дней. 2. Мы можем предоставлять индивидуальные услуги нашим клиентам. Обычно это занимает 30-60 дней в зависимости от технических характеристик пользовательского прибора.

В. в нашей стране источник питания и вилка отличаются. Как вы его решаете?
О. мы можем обеспечить подачу питания на трансформатор и вилку в соответствии с местными требованиями в соответствии с вилкой питания разных стран.

В. как оплатить?
A.T/T, L/C, D/P и т.д., рекомендуется использовать торговую гарантию Alibaba.

В. как упаковать товары? Способы доставки?
A.1. Стандартный экспортный знак фумигации деревянная упаковка 2. Экспресс, авиаперевозки, морские перевозки в соответствии с требованиями клиента, найти наиболее подходящий способ.

По всем вопросам обращайтесь в службу поддержки клиентов


 

Свяжитесь с нами

Пожалуйста, не стесняйтесь дать свой запрос в форме ниже мы ответим вам в течение 24 часов