Основная Информация.
Модель №.
CY-3RF
диапазон угла распыления
0 – 25° регулируется
диапазон расстояния распыления
50 – 80 мм регулируется
вакуумная камера
кварц высокой чистоты
уплотнительный фланец
диаметр 274 мм
скорость вращения
1 об/мин
температура держателя
rt-600c
ключевые слова
системы осаждения рч-брызг
гарантия
один год
Транспортная Упаковка
Wooden Box
Характеристики
dia. 50mm
Торговая Марка
CY
Происхождение
Zhengzhou, China
Код ТН ВЭД
8486202200
Производственная Мощность
210 Sets Per Month
Описание Товара
3 глав государств компактные 1" РЧ плазменных магнетрон отличается неравномерностью - стержень Мейера -
- Это три блока цилиндров 1" РЧ плазменных магнетрон отличается неравномерностью система, предназначенная для неметаллических тонкопленочные покрытия, главным образом для многоуровневой азота тонких пленок. Это наиболее экономичный - стержень Мейера для проведения исследований в рамках нового поколения азота тонких пленок. (DC магнетрон отличается неравномерностью вариант предоставляется по запросу).
- Это три блока цилиндров 1" РЧ плазменных магнетрон отличается неравномерностью система, предназначенная для неметаллических тонкопленочные покрытия, главным образом для многоуровневой азота тонких пленок. Это наиболее экономичный - стержень Мейера для проведения исследований в рамках нового поколения азота тонких пленок. (DC магнетрон отличается неравномерностью вариант предоставляется по запросу).
| Входная мощность | Однофазный 220 В переменного тока, 50 / 60 Гц 1000 Вт (в том числе вакуумный насос и охладитель воды) Если значение напряжения составляет 110 V, 1500 Вт трансформатор можно заказать |
| Источник питания | 13,5 Мгц, 100 Вт ВЧ генератор с ручной совпадающих включен и подключен к отличается неравномерностью глав государств Диапазон нагрузки: 0 - 80 oh регулируется. Диапазон настройки: -200j - 200j регулируемый Поворотного переключателя можно активировать один отличается неравномерностью головки блока цилиндров в то время. Отличается неравномерностью глав государств может быть включен в плазме" (без нарушения вакуума и телевизор с плазменным экраном в многоуровневый процесс) Дополнительно 300 W auto-соответствует RF генератор доступна за дополнительную плату |
| Магнетрон отличается неравномерностью головки блока цилиндров | Три 1" магнетрона отличается неравномерностью головки с водяным охлаждением куртки включены и вставить в кварцевую камеры с помощью quick зажимы Кабель RF замены можно приобрести Один управляется вручную затвор построен на фланце Один 10 л/мин с цифровым управлением Рециркуляционный охладитель воды для охлаждения отличается неравномерностью глав государств |
| Отличается неравномерностью целевой | Целевой размер: 1 диаметр x 1/8" Толщина макс. Отличается неравномерностью расстояния диапазон: 50 - 80 мм регулируемый Отличается неравномерностью угол обзора: 0 - 25° регулируемый 1" диаметром Cu и Al2O3 target включены для демонстрационных испытаний Различных азота 1" отличается неравномерностью цели предоставляются по запросу за дополнительную плату |
| Вакуумную камеру | Вакуумную камеру: 256 мм OD x 238 мм x 276 мм высота, высокой чистоты кварц Герметичность фланца: 274 мм в диаметре. из алюминия с высокой температурой силиконового уплотнительного кольца Корпус из нержавеющей стали щиток отсека для жестких дисков для 100% экранирование РЧ излучения из камеры Максимальный уровень вакуума: 10^4 Торр с технологией Turbo насоса и камеры для выпекания |
| Держатель образца | Держатель образца является поворотным и подогреваемый зимой ступени, керамический нагреватель с из нержавеющей стали Держатель образца размер: 50 мм в диаметре.. 2" полупроводниковая пластина max скорость вращения: 1 - 10 об/мин регулируется для равномерного покрытия Держатель температура регулируется в пределах от RT до 600 °C (5 min Max на 600 °C; 2 ч макс. при 500 °C) с точностью +/- 1,0 °C через цифровой контроллер температуры |
| вакуумный насос | KF40 вакуумный канал построен в для подключения к вакуумный насос. Уровень вакуума: 10^3 Торр с двухступенчатой механического насоса 10^4 Торр с технологией Turbo насоса |
| Размер | 540 мм L x 540 мм (Ширина) x 1000 мм H |
| вес нетто | 60 кг |
| Соблюдение | CE утверждения |
